半导体行业气体品质检测五项测试检测出报告测试项目包括微粒、氧气含量、水份、氦气测漏与压力测试。注：1、管路微粒、水氧等测试前须先衔接厂务端接点后

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原位激光过程气体分析仪RDGasTDL-6100是基于可调谐半导体激光吸收光谱技术（TDLAS）的高性能光学分析仪器，采用对射式设计，可用于工业过程气体控制；其响应时间快速，在原位式测量中一般以秒计算，避免采样式测量带来的时间延迟，可在线及时的反应被测气体浓度。

手套箱氦气变送器a.高分辨率LCD显示屏，显示清晰、美观； b.采用*热导传感器，具有响应速度快、测量精度高、校准周期长等特点； c.菜单锁定功能，防止误操作改变仪表参数，影响其性能； d.温度和压力补偿，消除温度和压力对测量精度的影响；

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